特許
J-GLOBAL ID：200903002960650296

圧電型アクチュエータの製造方法およびそれによって得られた圧電型アクチュエータならびにそれを用いたインクジェット式記録ヘッド

発明者：
金谷 宗秀

金谷 宗秀 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375317
公開番号（公開出願番号）：特開2001-187448
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】【課題】 構成部材を高い精度で位置決めできる圧電型アクチュエータの製造方法を提供する。【解決手段】 圧力室2が形成された圧力室形成板10と、上記圧力室2の開口を塞ぐ振動板11と、上記圧力室2に連通する第1および第2連通孔12,13が形成された連通孔形成板14とを積層し、上記振動板11の圧力室2に対応する位置に、インクジェット式記録ヘッド25によって圧電材料や電極材料の分散液を印刷することにより、振動板11上に圧電振動子および電極を形成させることにより、振動板11と圧力室形成板10と連通孔形成板14との積層体22に、焼結過程で収縮率のばらつきが生じていたとしても、ばらつきに応じて印刷位置を位置決めしながら印刷することが可能となり、従来のような、位置精度の低下によるアクチュエータ特性のばらつき発生を防止できる。
請求項（抜粋）：
圧力室が形成された圧力室形成板と、上記圧力室の開口を塞ぐ振動板と、上記圧力室に連通する連通孔が形成された連通孔形成板とを積層し、上記振動板の圧力室に対応する位置に、インクジェット式記録ヘッドによって圧電材料の分散液を印刷することにより、振動板上に圧電振動子を形成させることを特徴とする圧電型アクチュエータの製造方法。
IPC (2件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055
Fターム (21件)：
2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG33 ,  2C057AG40 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG48 ,  2C057AG55 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP16 ,  2C057AP22 ,  2C057AP46 ,  2C057AP57 ,  2C057AP75 ,  2C057AP77 ,  2C057AQ10 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM