特許
J-GLOBAL ID：200903002970837050

マイクロ波発生装置、マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置及びマイクロ波発生方法

発明者：
河西 繁

河西 繁 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-107953
公開番号（公開出願番号）：特開2006-287817
出願日： 2005年04月04日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】動作効率が高く、しかも装置自体も小型化されて低コストで、バランス調整も不要にできるマイクロ波発生装置を提供する。【解決手段】マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部68と、スイッチ信号に基づいてスイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部70と、スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部71と、増幅信号からスイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するためのマイクロ波選択部72と、マイクロ波を検出する出力信号検出部74と、出力信号検出部の検出結果に基づいて可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部76とを備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、 前記スイッチ信号に基づいてスイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、 該スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、 前記増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するためのマイクロ波選択部と、 前記マイクロ波を検出する出力信号検出部と、 該出力信号検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、 を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置。
IPC (6件)：
H03B 28/00 ,  H05H 1/46 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/00 ,  H05B 6/66
FI (7件)：
H03B28/00 Z ,  H05H1/46 R ,  H01L21/302 101D ,  H01L21/205 ,  H05H1/00 A ,  H05H1/46 B ,  H05B6/66 C
Fターム (9件)：
3K086AA02 ,  3K086BA07 ,  5F004BB14 ,  5F004BB29 ,  5F004CA03 ,  5F004CB02 ,  5F045AA09 ,  5F045EH01 ,  5F045EH19
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • プラズマ処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-288769   出願人：東京エレクトロン株式会社, 長野日本無線株式会社
審査官引用 (5件)
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