特許
J-GLOBAL ID:200903002985894408

ガス測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-330749
公開番号(公開出願番号):特開2000-155107
出願日: 1998年11月20日
公開日(公表日): 2000年06月06日
要約:
【要約】【課題】 再現性を低下させることなく測定間隔を短くする。【解決手段】 サンプルガスの測定終了後、電磁バルブV2を切り替えて、酸素ガスボンベ9をセンサ部5に接続し、電磁バルブV3を切り替えて、センサ部5の出口側をニードルバルブ11及びポンプ13を介さずに流量計15に接続する。ゼロガス又はサンプルガスをセンサ部5に導入した時と同じ流量になるように、ニードルバルブ7により流量を調節して、酸素ガスボンベ9からニードルバルブ7及び電磁バルブV2を介して酸素ガスを酸素回復ガスとしてセンサ部5に導入する。センサ部5のガスセンサの表面状態は、サンプルガスとの酸化還元反応によって酸素が少なくなっており、酸素ガスを供給することにより、ガスセンサの表面状態の回復が早まる。
請求項(抜粋):
一つ又は複数個の酸化物半導体センサを備え、前記センサによるサンプルガス検出時の検出信号と測定の基準となるゼロガス検出時の検出信号からサンプルガスの定性又は定量を行なうガス測定装置において、サンプルガスを測定した後、前記センサに高濃度の酸素、活性酸素、酸化剤又はオゾンを供給する酸素回復ガス供給機構を備えたことを特徴とするガス測定装置。
IPC (2件):
G01N 27/12 ,  G01N 27/04
FI (2件):
G01N 27/12 A ,  G01N 27/04 H
Fターム (17件):
2G046AA01 ,  2G046AA24 ,  2G046DB01 ,  2G046EB01 ,  2G046EB06 ,  2G046FB02 ,  2G060AA01 ,  2G060AB21 ,  2G060AB26 ,  2G060AE19 ,  2G060AF07 ,  2G060AG05 ,  2G060BA01 ,  2G060BB08 ,  2G060BB13 ,  2G060BC05 ,  2G060HB01
引用特許:
審査官引用 (10件)
  • 臭いの測定方法及び装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-023595   出願人:凸版印刷株式会社
  • ガス検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-092499   出願人:エヌオーケー株式会社
  • 特開平3-071050
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