角速度センサ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉信興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176992
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009474
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】電気的および機械的外乱による検出精度の低下を防止。角速度検出精度の向上。【解決手段】 x,y方向に撓み性が高いばね梁b1〜b4で基板100に対して浮動支持された、中心Oに関して対称な連結梁c1,c2;これらに、x方向に撓み性が高いばね梁31〜34/35〜38を介して支持された、それぞれが中心Oを通るx軸に関して対称であって、互には中心Oを通るy軸に関して対称な、第1,第2振動体7,17;これらの少くとも一方をx振動駆動する駆動電極5a,6a/5b,6b;第1振動体7のy振動を検出する第1変位検出電極12,13;および、第2振動体17のy振動を検出する第2変位検出電極22,23;を備える(図6)。他の態様では、一点にて励振するル-プばね梁3を用い、第1,第2振動体11,21を第1,第2駆動枠7,17に浮動支持した(図1)。

請求項（抜粋）：

中心Oを通るx軸およびy軸の方向に撓み性が高く、浮動支持部材にて基板に対してx,y平面に沿う方向に振動可に支持された、ル-プばね梁;該ル-プばね梁の、x軸,y軸との交点の少くとも一点を該軸が延びる方向に振動駆動する励振手段;該ル-プばね梁のx軸との交点に連続し、y軸に関して対称に位置し、x軸の延びる方向に撓み性が高い支持部材にて基板に対して浮動支持された第1駆動枠および第2駆動枠;第1駆動枠にあって、それに連続するy方向に撓み性が高いばね梁に連続する第1振動体;第2駆動枠にあって、それに連続するy方向に撓み性が高いばね梁に連続する第2振動体;第1振動体のy振動を検出する第1の変位検出手段;および、第2振動体のy振動を検出する第2の変位検出手段;を備える角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (4件)

回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-306238 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
マイクロジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-348972 出願人：三星電子株式会社, 韓國科學技術院
マイクロメカニカル回転速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-113266 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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