特許

J-GLOBAL ID：200903003233134460

プローブカードおよびプローブカード用のプローブ接触針固定用ホルダーの製造方法

発明者： 山田 大典 ,  木村 潔
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-048538
公開番号（公開出願番号）：特開2007-225501
出願日： 2006年02月24日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：

【課題】プローブ接触針の接触針本体部の長さを短くすることができ、プローブ接触針が相互に影響して電圧が変化することなく、正確で、迅速な、電気的特性を検査することができるコンパクトなプローブカードを提供する。【解決手段】プローブ接触針と、プローブ接触針の先端部分近傍が表面から露出するように、プローブ接触針の基端部を固定するプローブ接触針固定用ホルダーと、検査用回路基板と、プローブ接触針固定用ホルダーの裏面側から露出するプローブ接触針の基端部と、検査用回路基板の検査用電極との間を電気的に接続する異方導電性シートと備え、異方導電性シートが、面方向に沿って互いに離間して配置された厚み方向に伸びる複数の接続用導電部と、これらの接続用導電部の間に形成された絶縁部とを備えた弾性異方導電膜と、この弾性異方導電膜を支持するフレーム板とから構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査体の被検査電極と接触して、被検査体の電気的特性を検査するために用いられるプローブカードであって、 被検査体の被検査電極と電気的に接触するプローブ接触針と、 前記プローブ接触針の先端部分近傍が表面から露出するように、プローブ接触針の基端部を固定するプローブ接触針固定用ホルダーと、 前記被検査体の被検査電極と対応するように、検査用電極が形成された検査用回路基板と、 前記プローブ接触針固定用ホルダーの裏面側から露出するプローブ接触針の基端部と、検査用回路基板の検査用電極との間を電気的に接続する異方導電性シートと、 を備え、 前記異方導電性シートが、面方向に沿って互いに離間して配置された厚み方向に伸びる複数の接続用導電部と、これらの接続用導電部の間に形成された絶縁部とを備えた弾性異方導電膜と、この弾性異方導電膜を支持するフレーム板とから構成されていることを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R1/073 E ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B

Fターム (17件)：

2G003AA10 ,  2G003AC01 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G003AH05 ,  2G011AA15 ,  2G011AB06 ,  2G011AC14 ,  2G011AC33 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD18

引用特許：

出願人引用 (4件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-206017   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブカード用探針、プローブカード用探針ユニット、プローブカード及びそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-401271   出願人：株式会社東京カソード研究所
• プロ-ブカ-ドおよび半導体装置の検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-147783   出願人：NECエレクトロニクス株式会社
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-047992   出願人：東京エレクトロン株式会社