特許
J-GLOBAL ID：200903061443057840
プローブカード用探針、プローブカード用探針ユニット、プローブカード及びそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-401271
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202350
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：
【要約】【課題】 プローブカード用探針を金属ガラスのバルク材から製造することにより、プローブカードをローコスト、短期に製造することを目的とする。【解決手段】 プレス加工により金属ガラスのバルク材を結晶化温度以下で探針の厚み方向の形状に成形して探針板に成形する(S10)。次に、この探針板の一方の端部に接触子を形成し(S12)、この探針板から個々の探針に成形し(S14)、この探針を本体基板に取り付け配線する(S16)。これにより、金属ガラスのバルク材を加工して探針を成形し、プローブカードを製造することができる。
請求項（抜粋）：
被検査体の電極と電気的に接続するプローブカード用探針を製造する方法であって、プレス加工により、金属ガラスのバルク材を結晶化温度以下で、探針の厚み方向の形状に成形して探針板に成形する探針板成形工程と、前記探針板に探針幅を残して切り込みを入れ、個々の探針に成形する探針成形工程と、を含むことを特徴とするプローブカード用探針の製造方法。
IPC (4件)：
G01R 1/067
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/067 G
, G01R 1/073 E
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
2G003AA07
, 2G003AA10
, 2G003AB01
, 2G003AG03
, 2G003AG04
, 2G011AA09
, 2G011AA15
, 2G011AA17
, 2G011AB01
, 2G011AB06
, 2G011AE03
, 2G011AE22
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106AA04
, 4M106BA01
, 4M106DD03
