全反射X線分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高野明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-202687
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044661
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】外部X線源設備内X線取り出し口部分に付け替えて使用するのに好適な全反射X線分析装置を提供する。【解決手段】外部X線源からのX線は、スリット1,入射X線検出器2を経て、試料台4の試料保持部材3上の試料(図示せず)の測定面で反射し、検出器台6の反射X線検出器5に入射する。スリット1,入射X線検出器2,試料台4は、基台7に載せられ、該基台7は上下可動台8に載っているので、基台7を上下移動して入射X線線軸を試料の測定面に合わせることができる。試料台4をX線軸に対し回動させ、試料台4に載せられた試料を傾斜させ、測定面からの反射X線をX線の反射位置を中心に回転移動する反射X線検出器5により測定する。前記基台7を、スリット1,入射X線検出器2,試料台4を有する基台とし、基台の重量を減少し、たわみ等の問題を避ける。

請求項（抜粋）：

X線源からのX線をモノクロメータ及びスリットを通して入射X線検出器に入射させ、該入射X線検出器からのX線を試料台に載置した試料に所定の角度で入射させ、前記試料からの反射X線を反射X線検出器で計測することにより、前記試料のX線吸収微細構造を測定する全反射X線分析装置において、前記スリットと前記入射X線検出器と前記試料台と前記反射X線検出器とを備えた基台と、該基台を上下移動する手段を有することを特徴とする全反射X線分析装置。

IPC (4件)：

G01N 23/20 , G01N 23/201 , G21K 1/06 , G01N 23/06

FI (4件)：

G01N 23/20 , G01N 23/201 , G21K 1/06 G , G01N 23/06

引用特許：

審査官引用 (7件)

全反射X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-000012 出願人：株式会社日立製作所
特開昭62-159031
特開平2-253144

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