特許

J-GLOBAL ID：200903035768966285

X線反射率測定装置及びX線反射率測定方法

発明者： 富田 博文 ,  淡路 直樹 ,  古宮 ▲聡▼
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265179
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105726
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 X線反射率測定方法及びX線反射率測定装置に関し、X線入射角のより広い範囲に渡って精度の高いX線反射率の測定を行う。【解決手段】 X線反射率測定装置のX線源1とX線検出器6との間のX線通路7,8に、交換可能にX線吸収体2を設けて、被測定試料5からの反射X線をX線検出器6で検出する。

請求項（抜粋）：

X線源とX線検出器との間のX線通路に、X線吸収体を設けたことを特徴とするX線反射率測定装置。

IPC (3件)：

G01N 23/20 ,  G01T 7/00 ,  G21K 1/10

FI (3件)：

G01N 23/20 ,  G01T 7/00 Z ,  G21K 1/10 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• X線反射率解析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-106443   出願人：株式会社日立製作所, 理学電機株式会社
• 多層膜構造解析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-327124   出願人：株式会社リコー
• 全反射X線分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-009789   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平2-186250