特許
J-GLOBAL ID：200903003277923674
イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-195350
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039459
出願日： 2002年07月04日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】イオンビームのビーム電流の可変範囲を拡大する。【解決手段】イオン源65は、マイクロ波パワー制御装置13,マイクロ波発信器15,放電容器19及び電極21a,21b,21cを有する。マイクロ波パワー制御装置13がケーブル14によりマイクロ波発信器15に接続される。放電容器19内にマイクロ波を入射することによってプラズマが発生され、プラズマ中のイオンはイオンビーム23となってイオン源65より出射される。マイクロ波パワー制御装置13はマイクロ波発信器15を制御し、マイクロ波16のパワーをパルスの途中で最低放電点弧可能パワーPC よりも低減させる。これによって、最低放電点弧可能パワーPC に対応する電流値よりも低いイオンビーム電流のパルスイオンビームが得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
パルス状のマイクロ波及び高周波のいずれかのパルス波を出力するパルス波出力装置と、前記パルス波出力装置から出力された前記マイクロ波及び前記高周波のいずれかによる放電によってプラズマを生成する放電室と、前記放電室内で生成された前記プラズマからイオンをビームとして引き出す電極と、前記パルス波出力装置で前記マイクロ波及び前記高周波のいずれかのパルスを発生させ、そのパルス内で前記マイクロ波及び前記高周波のいずれかのパワーを段階的に少なくとも一回低下させるパワー制御装置とを備えたことを特徴とするイオン源。
IPC (9件)：
H01J27/16
, A61N5/10
, G21G1/10
, G21K5/00
, G21K5/04
, H01J37/04
, H01J37/08
, H05H1/46
, H05H9/00
H01J27/16
, A61N5/10 D
, G21G1/10
, G21K5/00 A
, G21K5/04 A
, H01J37/04 Z
, H01J37/08
, H05H1/46 B
, H05H1/46 C
, H05H1/46 L
, H05H9/00 C
2G085AA03
, 2G085AA20
, 2G085BA02
, 2G085CA21
, 2G085EA07
, 4C082AA01
, 4C082AC04
, 4C082AE01
, 4C082AG02
, 4C082AG12
, 4C082AG43
, 5C030AA03
, 5C030AB06
, 5C030DD01
, 5C030DD02
, 5C030DE09
