特許
J-GLOBAL ID：200903003388650383
表面測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浜田 修司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-127372
公開番号（公開出願番号）：特開2008-261829
出願日： 2007年04月12日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：
【課題】反射率の異なる部分を有する被測定物上の被測定面の高さを高速で測定することができる表面測定装置を提供する。【解決手段】共焦点光学系2を有した表面測定装置1であって、この共焦点光学系2の対物レンズ27と結像レンズ25との間に、この対物レンズ27と同軸に設けた遮光板26と、この対物レンズ27と同軸に、被測定面6aにレーザ光を照射するレーザ発振器20と、前記対物レンズ27を介して前記被測定面6aの像の輝度を検出する光検出手段21と、この共焦点光学系2の焦点面を被検物に垂直に相対移動させるピエゾ素子25aとを有することを特徴としている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
共焦点光学系を有した表面測定装置であって、この共焦点光学系の対物レンズと結像レンズとの間に、この対物レンズと同軸に遮光板を設けたことを特徴とする表面測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (39件)：
2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL18
, 2F065LL30
, 2F065LL57
, 2F065MM03
, 2F065MM16
, 2F065MM28
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ03
, 2F065UU07
, 2H052AA08
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC09
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD07
, 2H052AD18
, 2H052AD34
, 2H052AF06
, 2H052AF14
, 2H052AF21
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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