特許

J-GLOBAL ID：200903003417872773

広領域走査型プローブ顕微鏡

発明者： 柳 和久 ,  本間 昭彦
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-282717
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117248
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】本発明の課題は、従来の微小領域画像と同じ高分解能で、均一な画質の広領域画像を、コンパクトな形態で実現出来る走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。【解決手段】本発明の広領域走査型走査プローブ顕微鏡は、微小領域を走査させるXY軸スキャナと、試料もしくは前記XY軸スキャナを移動させるためのXYステージを具備し、前記XY軸スキャナの走査により微小領域画像を取得する手段と、前記微小領域に隣接する領域に顕微鏡中心をシフトさせるべく前記XYステージを移動制御する手段と、隣接する複数の微小領域画像を繋ぎ合わす画像合成手段とを備えるものである。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

微小領域を走査させるXY軸スキャナと、試料もしくは前記XY軸スキャナを移動させるためのXYステージを具備し、前記XY軸スキャナの走査により微小領域画像を取得する手段と、前記微小領域に隣接する領域に顕微鏡中心をシフトさせるべく前記XYステージを移動制御する手段と、隣接する複数の微小領域画像を繋ぎ合わす画像合成手段とを備えた広領域走査型走査プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N13/10 ,  G01B21/30

FI (4件)：

G01N13/10 B ,  G01N13/10 C ,  G01N13/10 E ,  G01B21/30 102

Fターム (8件)：

2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069GG01 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069NN08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-189531   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• プローブ走査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-118015   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡、並びにその高さ方向較正用基準器および較正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-064665   出願人：日立建機株式会社, 株式会社日立製作所