特許
J-GLOBAL ID:200903003485686988
オゾン水製造方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
赤塚 賢次 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-188539
公開番号(公開出願番号):特開2000-015272
出願日: 1998年07月03日
公開日(公表日): 2000年01月18日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 オゾン水の自己分解速度を遅くして、工場内の広範囲に分散した複数のユースポイントに対しても、1台のオゾン水製造装置でオゾン水を集中製造供給可能とし、必要量に対して大過剰のオゾンを製造する必要がなく、ユースポイントにおける過飽和酸素による発泡が少なく、濃度の安定した水を供給できるオゾン水製造方法及び装置を提供する。【解決手段】 該超純水製造装置で製造された超純水にオゾンを溶解させるオゾン溶解手段とを備え、超純水製造装置は系統内の紫外線酸化手段を有しないか、あるいは紫外線照射手段を設けた場合、紫外線照射手段によって生成された過酸化水素を過酸化水素除去手段で除去した超純水をオゾン溶解手段に供給するオゾン水製造装置並びにオゾン水製造方法において、超純水中の過酸化水素濃度をオゾン溶解前において、15μg/L 以下とする。
請求項(抜粋):
超純水にオゾンを溶解させてオゾン水を製造するオゾン水製造方法において、前記超純水中の過酸化水素濃度をオゾン溶解前において、15μg/L 以下とすることを特徴とするオゾン水製造方法。
IPC (5件):
C02F 1/78
, B01J 31/08
, C02F 1/28
, C02F 1/32
, C02F 1/58
FI (5件):
C02F 1/78
, B01J 31/08 M
, C02F 1/28 Z
, C02F 1/32
, C02F 1/58 H
Fターム (64件):
4D024AA03
, 4D024AB04
, 4D024AB14
, 4D024BA02
, 4D024BA17
, 4D024BB01
, 4D024CA01
, 4D024DA04
, 4D024DB03
, 4D024DB04
, 4D024DB05
, 4D024DB10
, 4D024DB19
, 4D024DB21
, 4D024DB24
, 4D037AA03
, 4D037AB01
, 4D037AB03
, 4D037BA18
, 4D037BB01
, 4D037BB02
, 4D037CA02
, 4D037CA03
, 4D037CA08
, 4D037CA12
, 4D037CA15
, 4D038AA02
, 4D038AB26
, 4D038BA04
, 4D038BA06
, 4D038BB03
, 4D038BB06
, 4D038BB07
, 4D038BB08
, 4D038BB16
, 4D038BB17
, 4D038BB18
, 4D050AA02
, 4D050AA04
, 4D050AA05
, 4D050AB07
, 4D050BB02
, 4D050BD03
, 4D050BD06
, 4D050BD08
, 4D050CA03
, 4D050CA06
, 4D050CA07
, 4D050CA08
, 4D050CA09
, 4D050CA13
, 4D050CA15
, 4D050CA16
, 4G069AA01
, 4G069AA03
, 4G069BA23A
, 4G069BA24B
, 4G069BC31B
, 4G069BC66B
, 4G069BC72A
, 4G069CA01
, 4G069CA10
, 4G069CA11
, 4G069DA06
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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オゾン水処理方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-215218
出願人:ペルメレック電極株式会社
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オゾン水処理方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-189252
出願人:ペルメレック電極株式会社
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特開平4-090891
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