特許
J-GLOBAL ID:200903003488245885
吸着フィルタ洗浄装置および洗浄方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (8件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-097997
公開番号(公開出願番号):特開2005-279473
出願日: 2004年03月30日
公開日(公表日): 2005年10月13日
要約:
【課題】本発明の課題は、超臨界または亜臨界流体密度を選択して洗浄を行うことにより、エネルギーコスト面から省力化を図るとともに、無駄な洗浄時間を省くことを可能とする吸着フィルタ洗浄装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、吸着フィルタを収容し洗浄する洗浄槽16と、前記洗浄槽16内の吸着フィルタに通流させる超臨界または亜臨界流体の流体密度が洗浄時に所定範囲となるように、流体の温度および圧力を制御する制御装置26とを備えることを特徴とするものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
超臨界または亜臨界流体を用いて吸着フィルタを洗浄する吸着フィルタ洗浄装置であって、
吸着フィルタを収容し洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽内の吸着フィルタに通流させる超臨界または亜臨界流体の流体密度が洗浄時に所定範囲となるように、流体の温度および圧力を制御する制御装置と
を備えることを特徴とする吸着フィルタ洗浄装置。
IPC (5件):
B08B7/00
, B01D15/00
, B01D53/04
, B01J3/00
, B01J20/34
FI (5件):
B08B7/00
, B01D15/00 G
, B01D53/04 Z
, B01J3/00 A
, B01J20/34 Z
Fターム (20件):
3B116AA46
, 3B116AB42
, 3B116BB02
, 3B116BB82
, 3B116BB90
, 3B116CD22
, 3B116CD42
, 4D012CA10
, 4D012CB01
, 4D012CD10
, 4D012CG01
, 4D012CK10
, 4D017CA03
, 4D017DB02
, 4D017DB10
, 4D017EB10
, 4G066CA56
, 4G066DA01
, 4G066GA31
, 4G066GA40
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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