特許
J-GLOBAL ID：200903003594237654

放電プラズマ処理装置

発明者：
上原 剛

上原 剛 について


出願人/特許権者：
積水化学工業株式会社

積水化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-146405
公開番号（公開出願番号）：特開2003-338399
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：
【要約】【課題】 3枚の電極を用いて2つの放電空間を形成する放電プラズマ処理装置において、簡便に両放電空間の電極間距離を微調整することができ、均一なプラズマを発生させ、継続して安定した処理を行うことのできる放電プラズマ処理装置の提供。【解決手段】 対向面の少なくとも一方を固体誘電体で被覆した3枚の電極によって形成された2つの放電空間を有する対向電極間に電界を印加することによってグロー放電プラズマを発生させて被処理体を処理する装置において、前記3枚の電極の中央の電極を固定し、両端の2枚の電極を可動にして、2つの放電空間の間隔を調整することを特徴とする放電プラズマ処理装置。
請求項（抜粋）：
対向面の少なくとも一方を固体誘電体で被覆した3枚の電極によって形成された2つの放電空間を有する対向電極間に電界を印加することによってグロー放電プラズマを発生させて被処理体を処理する装置において、前記3枚の電極の中央の電極を固定し、両端の2枚の電極を可動にして、2つの放電空間の間隔を調整することを特徴とする放電プラズマ処理装置。
IPC (4件)：
H05H 1/24 ,  C23C 16/505 ,  C23C 16/513 ,  C23F 4/00
FI (4件)：
H05H 1/24 ,  C23C 16/505 ,  C23C 16/513 ,  C23F 4/00 A
Fターム (16件)：
4K030CA02 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030CA17 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030KA15 ,  4K030KA17 ,  4K030KA30 ,  4K057DA20 ,  4K057DD01 ,  4K057DG16 ,  4K057DM06
引用特許：
審査官引用 (6件)
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