特許
J-GLOBAL ID：200903003625142525
露光方法および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-070855
公開番号（公開出願番号）：特開2007-250741
出願日： 2006年03月15日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】スループットの改善を図ることができる露光方法およびその実施に好適な露光装置を提供する。【解決手段】レチクル21に設けられたブランク露光用の開口部23に露光光を照射し、該開口部23を通過した前記露光光を、ウェーハ15の外周部のブランク領域13に照射することでブランク露光工程が行われる。この工程においては、レクチル21を静止させた状態で、ウェーハ15のみを走査させながら露光光が前記ウェーハに向けて照射されるようになっている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
レチクルに設けられたブランク露光用の開口部を通過した前記露光光を、ウェーハ外周部のブランク領域に照射する露光方法であって、
前記露光光を照射する工程は、前記レクチルを静止させた状態で前記ウェーハのみを走査させながら、前記露光光を前記ウェーハに向けて照射する露光方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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