露光方法及びこれを遂行するためのレチクル、レチクルアセンブリー及び露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：八田幹雄 , 奈良泰男 , 齋藤悦子 , 宇谷勝幸 , 藤井敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364127
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197678
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】露光工程の時間的な損失を減少するための露光方法を提供する。【解決手段】ウエハーW上の少なくとも一つのダイ領域を含む複数のショット領域に対する第1露光工程はレチクルRを通した照明光を用いて遂行され、ウエハーWのエッジ部位と隣接するダイ領域に対する2次露光工程はレチクルに隣接して配置される光透過部材102を通過した照明光によって遂行される。光透過部材は、照明光を通過させるための四角リボン形状の光透過領域を含み、ウエハーは、光透過領域を通過した照明光がウエハーのエッジ部位と隣接するダイ領域をスキャンするように移動する。第1露光工程から第2露光工程へ移行する際にレチクルRの交換が不要になる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

イメージ情報を含む投影光でフォトレジスト膜が形成されたウエハー上に設定された少なくとも一つのダイ領域を含む複数のショット領域上にイメージを投影する段階と、走査光で前記ウエハーのエッジ部位と隣接するダイ領域をスキャンする段階と、を含むことを特徴とする露光方法。

IPC (2件)：

H01L21/027 , G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 577 , G03F7/20 521

Fターム (3件)：

5F046AA28 , 5F046CC14 , 5F046JA15

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第6、331、885号明細書
米国特許第6、538、719号明細書

審査官引用 (9件)

特開平3-237459
走査型露光装置および露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-210305 出願人：キヤノン株式会社
特開平1-261821

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