特許
J-GLOBAL ID:200903003638403077
回路基板の製造方法及び回路基板
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-224651
公開番号(公開出願番号):特開平11-068288
出願日: 1997年08月21日
公開日(公表日): 1999年03月09日
要約:
【要約】【課題】 導体金属の厚みによる配線ピッチの規制を取り除いて微細な配線を形成し、品質を向上し、製造コストを低減する。【解決手段】 成形基板2に予め配線パターン形状の凹部3に付与しておき、この成形基板2の凹部3を形成した面の全面に導体金属4をスパッタ法や蒸着法にて付着させ、導体金属4の表面を平坦にした後、全面をドライエッチング工法にて除去し、凹部3にのみ導体金属4を残すことで回路基板1を完成する。
請求項(抜粋):
基板を形成する工程と、導体回路を形成する工程とから成り、基板を形成する工程において基板表面に導体回路形状の凹部を形成することを特徴とする回路基板の製造方法。
IPC (6件):
H05K 3/00
, H05K 1/02
, H05K 3/02
, H05K 3/10
, H05K 3/12 610
, H05K 3/14
FI (6件):
H05K 3/00 N
, H05K 1/02 C
, H05K 3/02 Z
, H05K 3/10 E
, H05K 3/12 610 Z
, H05K 3/14 Z
引用特許:
審査官引用 (8件)
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特開昭62-035693
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回路配線パタ-ンの形成法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-280973
出願人:日本メクトロン株式会社
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特開平3-104187
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特開昭62-035693
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回路材の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-322451
出願人:古河電気工業株式会社
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薄膜電極パターン形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-209313
出願人:株式会社村田製作所
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回路基板およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-055131
出願人:三菱電機株式会社
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特開平3-104187
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