特許
J-GLOBAL ID：200903003653565091

樹脂発泡体およびそれからなる研磨パッド

発明者：
菊池 博文

菊池 博文 について

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金田 俊二

金田 俊二 について

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岡本 知大

岡本 知大 について

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加藤 晋哉

加藤 晋哉 について


出願人/特許権者：
株式会社クラレ

株式会社クラレ について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-059909
公開番号（公開出願番号）：特開2008-222769
出願日： 2007年03月09日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】 均一な発泡構造を有し、被研磨面の平坦性および平坦化効率の向上が達成でき、研磨の作業中の温度変動に対して硬度変化が少なく、スクラッチ傷の発生が少ない研磨パッドを与える樹脂発泡体およびそれからなる研磨パッドを提供すること。 【解決手段】 熱可塑性ポリウレタンからなる樹脂発泡体であって、該熱可塑性ポリウレタンが以下の[A]〜[D]を満足する樹脂発泡体およびそれからなる研磨パッド。[A]高分子ポリオール(a)、1,4-シクロヘキサンジメタノールを50〜100モル%含有する鎖伸長剤(b)および有機ジイソシアネート(c)から形成され、[高分子ポリオール(a)の質量]/[鎖伸長剤(b)の質量+有機ジイソシアネート(c)の質量]=10/90〜40/60である。[B]窒素原子の含有率が5.0質量%以上である。[C]水に対する接触角が55〜75度である。[D]ガラス転移温度が50〜100°Cである。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
熱可塑性ポリウレタンからなる樹脂発泡体であって、該熱可塑性ポリウレタンが以下の[A]〜[D]を満足する樹脂発泡体。 [A]高分子ポリオール(a)、1,4-シクロヘキサンジメタノールを50〜100モル%含有する鎖伸長剤(b)および有機ジイソシアネート(c)から形成され、[高分子ポリオール(a)の質量]/[鎖伸長剤(b)の質量+有機ジイソシアネート(c)の質量]=10/90〜40/60である。 [B]窒素原子の含有率が5.0質量%以上である。 [C]水に対する接触角が55〜75度である。 [D]ガラス転移温度が50〜100°Cである。
IPC (5件)：
C08J 9/12 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  C08G 18/65 ,  C08J 5/14
FI (5件)：
C08J9/12 ,  H01L21/304 622F ,  B24B37/00 C ,  C08G18/65 F ,  C08J5/14
Fターム (59件)：
3C058AA09 ,  3C058CA05 ,  3C058CB02 ,  3C058CB04 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F071AA53 ,  4F071AF04 ,  4F071AF20 ,  4F071AH17 ,  4F071DA20 ,  4F074AA80 ,  4F074BA32 ,  4F074BA33 ,  4F074CB52 ,  4F074CB53 ,  4F074CC04X ,  4F074CC04Y ,  4F074CC34X ,  4F074DA56 ,  4J034CA04 ,  4J034CB03 ,  4J034CB07 ,  4J034CC03 ,  4J034CC15 ,  4J034CC22 ,  4J034CC23 ,  4J034CC26 ,  4J034CC45 ,  4J034CC52 ,  4J034CC62 ,  4J034CC65 ,  4J034DA01 ,  4J034DB04 ,  4J034DB07 ,  4J034DF01 ,  4J034DF02 ,  4J034DF16 ,  4J034DF20 ,  4J034DF21 ,  4J034DG03 ,  4J034DG06 ,  4J034HA01 ,  4J034HA07 ,  4J034HC03 ,  4J034HC12 ,  4J034HC13 ,  4J034HC17 ,  4J034HC22 ,  4J034HC46 ,  4J034HC52 ,  4J034HC61 ,  4J034HC67 ,  4J034HC71 ,  4J034HC73 ,  4J034NA01 ,  4J034QB03 ,  4J034QC01 ,  4J034RA11
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
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