特許
J-GLOBAL ID：200903003654820478
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092749
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283608
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】吸着面に保持するウエハをリフトピンでもって破損させることなく押し外すことができるようにするとともに、破損の有無を検知できるような静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャックを構成する絶縁基板の内部に静電電極を備えるとともに、上記絶縁基板の表面を吸着面とし、該吸着面には開口した深さ50〜200μmの溝部にガスを供給するための貫通孔を有し、該貫通孔に上記ガス圧の変化を検知するための検出手段を配設するとともに、上記絶縁基板には吸着面より突出自在なリフトピンを具備させ、前記検出手段によるガス圧が所定値になった時に上記リフトピンを突出させて吸着面に存在するウエハを押し外すようにする。
請求項（抜粋）：
絶縁基板の内部に静電電極を備えるとともに、上記絶縁基板の表面を吸着面とし、該吸着面には開口した深さ50〜200μmの溝部にガスを供給するための貫通孔を有し、該貫通孔に上記ガス圧の変化を検知するための検出手段を配設するとともに、上記絶縁基板には吸着面より突出自在なリフトピンを具備してなり、前記検出手段によるガス圧が所定値になった時に上記リフトピンを突出させて吸着面に保持するウエハを押し外すようにしてなる静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H01L 21/027
, H01L 21/3065
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, H01L 21/30 541 L
, H01L 21/302 B
