特許
J-GLOBAL ID：200903003671719454

三軸加速度センサ

発明者：
小林 英樹

小林 英樹 について

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高橋 めぐみ

高橋 めぐみ について

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中溝 佳幸

中溝 佳幸 について

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福久 孝治

福久 孝治 について


出願人/特許権者：
北陸電気工業株式会社

北陸電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 松本 英俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261781
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101815
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 各加速度信号の信号レベルの差を小さくすることができる三軸加速度センサを得る。【解決手段】 圧電セラミックス基板5の重錘固定領域5Aと中間領域5Bとの境界線5Cが検出用電極DX1及びDX2をそれぞれ横切る長さl1 ,l2 の合計値と、検出用電極DY1及びDY2をそれぞれ横切る長さl3 ,l4 の合計値と、検出用電極DZ1〜DZ4をそれぞれ横切る長さl5 〜l8 の合計値とを等しくする。検出用電極DX1,DX2の面積の合計値と、検出用電極DY1,DY2の面積の合計値と、検出用電極DZ1〜DZ4の面積の合計値とを等しくする。検出用電極DX1,DX2,DY1,DY2,DZ1〜DZ4と対向するように環状に対向電極パターンを形成する。
請求項（抜粋）：
X軸方向加速度を検出する1以上のX軸方向加速度検出用電極、Y軸方向加速度を検出する1以上のY軸方向加速度検出用電極、Z軸方向加速度を検出する1以上のZ軸方向加速度検出用電極、1以上のX軸方向加速度出力電極、1以上のY軸方向加速度出力電極、1以上のZ軸方向加速度出力電極、前記1以上のX軸方向加速度検出用電極と前記1以上のX軸方向加速度出力電極を接続する第1の配線パターン、前記1以上のY軸方向加速度検出用電極と前記1以上のY軸方向加速度出力電極を接続する第2の配線パターン及び前記1以上のZ軸方向加速度検出用電極と前記1以上のZ軸方向加速度出力電極を接続する第3の配線パターンを含む電極パターンが表面上に形成され、裏面上に少なくとも前記各検出用電極と対向する対向電極パターンが形成され、前記1以上のX軸方向加速度検出用電極、前記1以上のY軸方向加速度検出用電極及び前記1以上のZ軸方向加速度検出用電極と前記対向電極パターンとの間の部分が分極処理されている圧電セラミックス基板と、表面に接着剤層を介して前記圧電セラミックス基板の前記裏面が接合されたダイアフラムと、前記ダイアフラムの裏面側に突出するように前記ダイアフラムに対して固定された重錘と、前記重錘の変位を許容するように前記ダイアフラムの外周部を支持する台座とを具備し、前記1以上のX軸方向加速度検出用電極、前記1以上のY軸方向加速度検出用電極及び前記1以上のZ軸方向加速度検出用電極が、前記重錘と対向する前記圧電セラミックス基板の重錘固定領域と該重錘固定領域と前記外周部との間に位置する中間領域とに跨がって形成されている三軸加速度センサであって、前記圧電セラミックス基板の前記重錘固定領域と前記中間領域との境界部に仮想した境界線が前記1以上のX軸方向加速度検出用電極を横切る長さの合計値と、前記境界線が前記1以上のY軸方向加速度検出用電極を横切る長さの合計値と前記境界線が前記1以上のZ軸方向加速度検出用電極を横切る長さの合計値とが実質的に等しいことを特徴とする三軸加速度センサ。
IPC (2件)：
G01P 15/09 ,  G01L 5/16
FI (2件)：
G01P 15/09 ,  G01L 5/16
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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