特許
J-GLOBAL ID：200903003704661872

特殊表面形状の創成方法及び光学素子

発明者：
梅木 和博

梅木 和博 について


出願人/特許権者：
リコー光学株式会社

リコー光学株式会社 について


代理人 (1件)： 樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-067262
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255660
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：
【要約】【課題】感光性材料層あるいは基板上に、高さ方向に滑らかに連続的に変化する3次元構造の特殊表面形状を容易に創成することができる新規な創成方法を実現する。【解決手段】所望の3次元構造の特殊表面形状を形成すべき基板材料10の表面上に所定の厚さに感光性材料を塗布して感光性材料層11を形成し、上記特殊表面形状に対応して光透過率が段階的に変化する露光用マスクを用いて感光性材料層11に所定の光透過率分布のマスクパターンLFを露光し、目的とする特殊表面形状に応じて感光性材料層11の厚さを変化せしめる特殊表面形状の創成方法において、感光性材料層11へ露光用マスクのパターンLFを露光する際に、デフォーカスして露光パターンを僅かに焦点ボケさせ、上記マスクパターンの光透過率分布の段差を解消する。
請求項（抜粋）：
所望の3次元構造の特殊表面形状に対応して光透過率が段階的に変化する露光用マスクを用いて基板上の感光性材料層にパターンを露光する際に、露光パターンを焦点ずらしさせ、光透過率分布の段差を解消することを特徴とする特殊表面形状の創成方法。
IPC (4件)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 3/00 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/40 521
FI (4件)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/40 521
Fターム (29件)：
2H087KA22 ,  2H087LA01 ,  2H087PA01 ,  2H087PA17 ,  2H087PB01 ,  2H087QA02 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA34 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087UA01 ,  2H096AA28 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096CA20 ,  2H096EA11 ,  2H096EA30 ,  2H096HA23 ,  2H097BA01 ,  2H097FA02 ,  2H097LA12 ,  2H097LA16 ,  2H097LA17 ,  9A001BB06 ,  9A001JJ48 ,  9A001JJ50 ,  9A001KK16
引用特許：
審査官引用 (7件)
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