加速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：林恒徳 , 土井健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364927
公開番号（公開出願番号）：特開2006-170856
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】パラソルタイプの加速度センサに対し,耐衝撃性に優れた構造を提示する。【解決手段】下端が基板に固定された支持部10と,加わる加速度による歪みに対応して出力信号に変化を与える検出素子13が形成され,前記支持部の上部に一端側が接続された可撓部12と,前記可撓部の他端側に接続して,吊り下げられる錘部11を備え,前記支持部の上部端面に形成されたパッドを介して前記検出素子の出力信号を導くように,前記パッドに接続された導電体リード5を通す窓を有するストッパ基板15を有し,前記ストッパ基板により前記錘部のオーバースイングを制限する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

下端が基板に固定された支持部と, 加わる加速度による歪みに対応して出力信号に変化を与える検出素子が形成され,前記支持部の上部に一端側が接続された可撓部と, 前記可撓部の他端側に接続して,吊り下げられる錘部を備え, 前記支持部の上部端面に形成されたパッドを介して前記検出素子の出力信号を導くように,前記パッドに接続された導電体リードを通す窓開け部を有するストッパ基板を有し, 前記ストッパ基板は,前記支持部の上部端面の前記パッドを囲う領域と接着剤により固定され,前記ストッパ基板により前記錘部の上方向のオーバースイングを制限することを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/12 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01P15/12 D , H01L29/84 A

Fターム (9件)：

4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA29 , 4M112CA33 , 4M112DA18 , 4M112EA20 , 4M112FA07

引用特許：

出願人引用 (2件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-117178 出願人：松下電工株式会社
特公平8-7228号公報

審査官引用 (5件)

シリコン加速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-242924 出願人：日本航空電子工業株式会社
多軸加速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-215075 出願人：三菱電機株式会社
特開平4-081630

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