特許
J-GLOBAL ID：200903003827477154
静電チャック装置、その組立方法および静電チャック装置用部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-310609
公開番号（公開出願番号）：特開2003-115529
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 絶縁不良、接触不良の発生を抑えて電極シートへの給電を安定して行うことができる静電チャック装置、およびこのような装置を少ない工程で容易に組み立てることができる組立方法を提供する。【解決手段】 貫通孔2が設けられた金属基盤5と、少なくとも絶縁層6、7およびこれに挟まれた導電層8を有し、貫通孔2の上端を塞ぐように金属基盤5上に積層された電極シート9と、先端部41から後端部42にわたってガイド孔43が形成され、金属基盤5の貫通孔2内に設けられた絶縁部材45と、絶縁部材45の終端部42に設けられた給電端子46と、ガイド孔43に挿入され、上端47が導電層8に接続され、下端49が給電端子46に接続された導線51とを具備する静電チャック装置40。
請求項（抜粋）：
貫通孔が設けられた基盤と、少なくとも絶縁層およびこれに挟まれた導電層を有し、貫通孔の上端を塞ぐように基盤上に積層された電極シートと、先端部から後端部にわたってガイド孔が形成され、基盤の貫通孔内に設けられた絶縁部材と、絶縁部材の後端部に設けられた給電端子と、絶縁部材のガイド孔に挿入され、上端が電極シートの導電層に接続され、下端が給電端子に接続された導線とを具備することを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, H02N 13/00 D
3C016GA10
, 5F031CA02
, 5F031GA15
, 5F031HA02
, 5F031HA10
, 5F031HA17
, 5F031HA18
, 5F031PA06
