特許
J-GLOBAL ID：200903003919302202

ヒータプレート及びヒータプレートの製造方法

発明者：
渡邊 克己

渡邊 克己 について

, 
福地 昭

福地 昭 について


出願人/特許権者：
古河スカイ株式会社

古河スカイ株式会社 について


代理人 (1件)： 川和 高穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-295701
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108527
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】ヒータプレートの熱応力による変形を防止するとともに、熱伝導性が良く、耐久性の高いヒータプレート及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明のヒータプレート1は、アルミニウム又はアルミニウム合金基部材2に内部部品としてシースヒータ3が収納され、その上から接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材4を鍛圧圧接して密封した構造を持ち、2枚のプレートを接合する従来の方法に比べて、コストや生産性等の点で優れ、半導体製造装置や液晶製造装置等の各種薄型ディスプレー(FPD)製造装置のヒータプレートとして使用可能である。また、PTPシートの製造装置等のヒータプレート一般に用いることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アルミニウム又はアルミニウム合金基部材に設けた溝部にシースヒータを収納し、 さらに、接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材を前記溝部に嵌合し、 前記接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材と前記アルミニウム又はアルミニウム合金基部材とを鍛圧圧接により金属接合したヒータプレートであって、 前記接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材の断面の形状が長方形を有し前記断面の幅が前記溝部の幅と同一か僅かに大きいことを特徴とするヒータプレート。
IPC (1件)：
H01L 21/02
FI (1件)：
H01L21/02 Z
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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