特許
J-GLOBAL ID：200903003935073876
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-091915
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287550
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：
【要約】【課題】 小型軽量で堅牢であるとともに、外来ノイズの影響を低減可能な加速度センサを提供すること。【解決手段】 静電型加速度センサにおいて、センサ本体20を気密性ケース1、2に収納するとともに、気密性ケースの内面から離してケース内部に支持する。センサ本体20の上下で通気性を有するため、センサ本体20自体に通気性を持たせることにより、空気の粘性抵抗による感度低下を著しく抑制可能である。また、センサ本体20の周囲の空気により、外来ノイズがセンサ本体20に与える影響を低減することができる。
請求項（抜粋）：
振動膜と、この振動膜と所定の間隔をもって対向配置された背極と、前記振動膜及び前記背極の間に存在する気体によってコンデンサを形成し、前記振動膜の振動による前記コンデンサの容量変化に基づいて前記振動膜に対する加速度を検出する加速度センサにおいて、前記振動膜及び前記背極を保持する略円筒形の内部ケースと、前記内部ケースを収納する気密性の外部ケースとを有し、前記外部ケースが、前記内部ケースを前記外部ケース内面と間隔をもたせて支持する支持手段を有することを特徴とする加速度センサ。
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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