特許
J-GLOBAL ID：200903004013501484

圧電アクチュエータ及びその製造方法

発明者：
谷 雅直

谷 雅直 について

, 
安田 喜昭

安田 喜昭 について

, 
赤松 雅洋

赤松 雅洋 について


出願人/特許権者：
スタンレー電気株式会社

スタンレー電気株式会社 について


代理人 (5件)： 佐藤 辰彦 ,  堀 進 ,  鷺 健志 ,  本間 賢一 ,  加賀谷 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-205228
公開番号（公開出願番号）：特開2008-035600
出願日： 2006年07月27日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】小型で、且つ拡張されたトルク又は変位を得ることが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】圧電アクチュエータ1は、支持体3及び支持体3上に形成された圧電体5A,5Bを有し圧電駆動により屈曲変形を行う圧電カンチレバー2A,2Bを複数備えると共に、該複数の圧電カンチレバーの圧電体5A,5Bにそれぞれ駆動電圧を印加するための複数の電極7A,7B,7C,9,4A,4B,6A,6Bを独立に備える。複数の圧電カンチレバー2A,2Bは、各々の屈曲変形を累積するように端部が機械的に連結され、該駆動電圧の印加により各圧電カンチレバー2A,2Bが独立に屈曲変形される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
支持体及び該支持体上に形成された圧電体を有し圧電駆動により屈曲変形を行う圧電カンチレバーを複数備えると共に、該複数の圧電カンチレバーの圧電体にそれぞれ駆動電圧を印加するための複数の電極を独立に備え、 前記複数の圧電カンチレバーは、各々の屈曲変形を累積するように端部が機械的に連結され、前記駆動電圧の印加により各圧電カンチレバーが独立に屈曲変形されることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (9件)：
H02N 2/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10
FI (9件)：
H02N2/00 B ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08 E ,  G02B26/10 104Z
Fターム (6件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB81
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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