固体撮像素子およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-118019
公開番号（公開出願番号）：特開2002-314058
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】斜め入射光に対して充分な光感度が得られるようにする。【解決手段】各光センサー104ごとに光センサー104の上に設けられた、凸面状の上面を有する透明材料から成る層内マイクロ凸レンズ134を含み、その上面に1μm以下のほぼ一定の膜厚で被着された、たとえば有機顔料を主要構成材料とするカラーフィルター4を備えている。カラーフィルター4は、たとえば蒸着重合法などのドライ成膜法により、顔料を層内マイクロ凸レンズ134上に成膜して形成することができる。層内マイクロ凸レンズ134とカラーフィルター4との間に平坦化層が介在せず、また、カラーフィルター4は感光剤や硬化剤を含まず薄く形成できるので、上層部の高さHを抑えて、斜め入射光も光センサー104上に確実に集光できる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に配列された複数の光センサーと、各光センサーごとに光センサーの上に設けられた、凸面状の上面を有する透明材料から成る層内マイクロレンズとを含む固体撮像素子であって、前記層内マイクロレンズの上面にほぼ一定の膜厚で被着された、顔料を主要構成材料とするカラーフィルターを含むことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (5件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , G02B 5/20 101 , H01L 31/0232 , H04N 5/335

FI (5件)：

G02B 3/00 A , G02B 5/20 101 , H04N 5/335 V , H01L 27/14 D , H01L 31/02 D

Fターム (33件)：

2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB15 , 2H048BB47 , 4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118CA03 , 4M118CA40 , 4M118FA06 , 4M118GC08 , 4M118GC17 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 4M118GD08 , 5C024AX01 , 5C024CX41 , 5C024EX43 , 5C024EX52 , 5F088BA01 , 5F088BB03 , 5F088CB03 , 5F088CB06 , 5F088CB07 , 5F088DA17 , 5F088EA04 , 5F088EA08 , 5F088HA06 , 5F088HA07 , 5F088JA12 , 5F088JA13

引用特許：

審査官引用 (5件)

固体撮像素子用カラーフィルタおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-291649 出願人：ソニー株式会社
オンチップレンズ付カラー固体撮像素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-172457 出願人：ソニー株式会社
特開昭61-032802

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