特許
J-GLOBAL ID：200903004065308674

誘電体素子及びその製造方法

発明者：
加藤 晃次

加藤 晃次 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149521
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343616
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 金属酸化物誘電体に電極を接触させた誘電体素子において、繰り返し電圧、あるいは応力を印加した後での、自発分極の減少やリーク電流の増大を防止する。【構成】 少なくとも一方の電極の誘電体膜と接する領域において、酸素を含有する。また金属酸化物誘電体がペロブスカイト型の結晶構造を有する、金属酸化物誘電体であり、さらに前記電極が、白金族元素、及び金のうち1もしくは2種類以上を主成分とする。
請求項（抜粋）：
金属酸化物誘電体を基質とする薄膜に一個、もしくは複数個の電極を接触させた構造を有する誘電体素子において、前記電極のうち少なくとも一個の電極の、少なくとも前記金属酸化物誘電体を基質とする薄膜に接触する領域に、酸素を含むことを特徴とする誘電体素子。
IPC (2件)：
H01L 27/04 ,  H01G 4/12 358
引用特許：
審査官引用 (4件)
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