特許
J-GLOBAL ID：200903004096444649

耐プラズマ部材

発明者：
村川 俊一

村川 俊一 について

, 
中村 勝美

中村 勝美 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-042604
公開番号（公開出願番号）：特開平10-236871
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：
【要約】【課題】フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝されたとしても腐食が少ない耐プラズマ部材を提供する。【解決手段】フッ素系や塩素系などの腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝される耐プラズマ部材の表面を、気孔率が3%以下のイットリウム・アルミニウム・ガーネット焼結体により形成するとともに、その表面を中心線平均粗さ(Ra)1μm以下とする。
請求項（抜粋）：
フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝される表面を、気孔率が3%以下のイットリウム・アルミニウム・ガーネット焼結体により形成するとともに、その表面を中心線平均粗さ(Ra)1μm以下としたことを特徴とする耐プラズマ部材。
IPC (8件)：
C04B 35/44 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/14 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (9件)：
C04B 35/44 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/22 501 M ,  H01L 21/68 R ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/14 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
引用特許：
審査官引用 (5件)
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