特許
J-GLOBAL ID：200903004130558292

アクティブマトリクス型表示装置およびアクティブマトリクス型表示装置の製造方法

発明者：
奥村 貴典

奥村 貴典 について

, 
梶原 正博

梶原 正博 について

, 
山林 弘也

山林 弘也 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-296134
公開番号（公開出願番号）：特開2006-106575
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 表示欠陥を防止したアクティブマトリクス型表示装置を提供する。【解決手段】 アクティブマトリクス型表示装置は、配線32と、配線32の表面に配置され貫通孔46を含む無機絶縁膜16と、貫通孔46に連通するように形成されたコンタクトホール41を含む有機絶縁膜11と、画素メタル電極1とを備える。有機絶縁膜11は、コンタクトホール41の表面の断面形状が2段になっており、第1テーパ部73の径が貫通孔46の径よりも大きくなるように形成され、第2テーパ部74の径が第1テーパ部73の径よりも大きくなるように形成されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
第1電極と、 前記第1電極の表面に配置され、貫通孔を含む無機絶縁膜と、 前記無機絶縁膜の表面に配置され、前記貫通孔に連通するように形成されたコンタクトホールを含む有機絶縁膜と、 前記貫通孔の内側の前記第1電極の表面、前記貫通孔の表面および前記コンタクトホールの表面に沿うように形成された第2電極と を備え、 前記有機絶縁膜は、前記コンタクトホールの表面の断面形状が2段になっており、前記無機絶縁膜の側の第1段目の径が、前記貫通孔の径の大きさ以上になるように形成され、第2段目の径が、前記第1段目の径よりも大きくなるように形成されている、アクティブマトリクス型表示装置。
IPC (6件)：
G09F 9/30 ,  H01L 27/32 ,  G02F 1/136 ,  G09F 9/35 ,  H01L 51/50 ,  H01L 21/768
FI (6件)：
G09F9/30 338 ,  G09F9/30 365Z ,  G02F1/1368 ,  G09F9/35 ,  H05B33/14 A ,  H01L21/90 A
Fターム (54件)：
2H092JA24 ,  2H092JA46 ,  2H092JB21 ,  2H092JB56 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA10 ,  2H092MA13 ,  2H092NA25 ,  2H092PA11 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007GA00 ,  5C094AA32 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094DB05 ,  5C094EA04 ,  5C094FA04 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033JJ01 ,  5F033NN32 ,  5F033NN33 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ23 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ89 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR13 ,  5F033RR14 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033RR27 ,  5F033SS11 ,  5F033SS21 ,  5F033TT04 ,  5F033VV12 ,  5F033VV15 ,  5F033XX02 ,  5F033XX37
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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