容器の移動装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196688
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024043
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】安全性が高く,かつ簡素化された容器の移動装置を提供する。【解決手段】ウェハWを収納するキャリアCを移動させる移動装置20であって,キャリアCが搬入される搬入ステージ21と,キャリアCが搬出される搬出ステージ22と,キャリアCからのウェハWの取り出しとキャリアCへのウェハWの収納が行われる取出収納ステージ23と,これら搬入ステージ21,搬出ステージ22,取出収納ステージ23の間でキャリアCを水平移動させる移動テーブル24とを備え,移動テーブル24を動かす移動手段40を,搬入ステージ21,搬出ステージ22,取出収納ステージ23の下方に設けた。

請求項（抜粋）：

並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる装置であって,前記容器が搬入される搬入ステージと,前記容器からの基板の取出が行われる取出ステージと,前記搬入ステージから取出ステージに容器を移動させる移動テーブルとを備えていることを特徴とする,容器の移動装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 1/00 535

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 1/00 535

Fターム (28件)：

3F022AA08 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022KK12 , 3F022LL12 , 3F022LL19 , 3F022MM01 , 3F022MM51 , 3F022QQ12 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA15 , 5F031GA06 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA54 , 5F031JA05 , 5F031JA13 , 5F031JA22 , 5F031JA43 , 5F031MA23 , 5F031NA09

引用特許：

出願人引用 (5件)

処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-062905 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-272875 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-152678 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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審査官引用 (5件)

処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-062905 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-272875 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-152678 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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