特許
J-GLOBAL ID：200903004265802860
角速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-053796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248733
出願日： 1998年03月05日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】新規な構成にて精度よく角速度を検出することができる角速度センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板1に形成した貫通孔により、梁8a〜8dを有し基板1の表面に平行な方向に励振するアウター側構造体100が区画されるとともに、構造体100に形成した貫通孔36〜39により、梁43,44を有し角速度により基板1の表面に平行な方向での励振方向Yに直交するX方向に移動するインナー側構造体200が区画されている。構造体100の角速度検出用固定電極48a〜48f,49a〜49fおよびこの固定電極48a〜48f,49a〜49fに対向するインナー側構造体200の角速度検出用可動電極46a〜46c,47a〜47cが、構造体100に形成した貫通孔内の絶縁体50a〜50f,51a〜51f,57,58によって電気的に分離されている。
請求項（抜粋）：
半導体基板に形成した貫通孔により、梁を有し半導体基板の表面に平行な方向に励振するアウター側構造体を区画するとともに、前記アウター側構造体に形成した貫通孔により、梁を有し角速度により半導体基板の表面に平行な方向での前記励振方向に直交する方向に移動するインナー側構造体を区画し、さらに、アウター側構造体の角速度検出用固定電極およびこの固定電極に対向する前記インナー側構造体の角速度検出用可動電極を、アウター側構造体に形成した貫通孔内の絶縁体によって、電気的に分離したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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