特許
J-GLOBAL ID：200903086317612785
静電容量型センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-173849
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022513
出願日： 1996年07月03日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 静電容量型センサを構成するCV変換回路とセンンシング部の間の電気的絶縁が確実に行なわれた、小型の静電容量型センサおよびその製造方法の提供を目的とする。【解決手段】 静電容量型センサは、可動電極と固定電極からなるセンシング部と、CV変換回路を形成したCV変換回路形成部とを備える。可動電極は、第一の支持部と、第一の支持部に接続された板ばね部と、板ばね部によって可動支持された質量部から構成される。固定電極は、第二の支持部と、第二の支持部に接続された立設部とから構成される。CV変換回路形成部と、第一の支持部および第二の支持部の厚みは薄く形成される。このため、CV変換回路形成部と第一の支持部の間、CV変換回路形成部と固定電極の間には、深さが浅い溝が形成される。従って、溝の内部には絶縁性物質を確実に堆積することができ、CV変換回路とセンンシング部の間の電気的絶縁のための絶縁部が形成される。
請求項（抜粋）：
電気的絶縁表面を有する支持台と、該支持台に設けられた可動電極と固定電極とからなるセンシング部と、該センシング部の静電容量の変化を電圧に変換するCV変換回路を形成したCV変換回路形成部を備えた静電容量型センサにおいて、前記可動電極は、前記支持台に固定された第一の支持部と、該第一の支持部により支持台表面から浮いて支持された板ばね部と、該板ばね部により可動支持された質量部とからなり、前記固定電極は前記支持台に固定され前記質量部と対向する立設部を有し、前記CV変換回路はCV変換回路形成部に形成され、前記第一の支持部及び前記固定電極と前記CV変換回路形成部の間に絶縁部を形成したことを特徴とする静電容量型センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/84 Z
, G01P 15/125
