ポジ型感光性樹脂組成物およびその硬化物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-028857
公開番号（公開出願番号）：特開2004-240144
出願日： 2003年02月05日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】解像性、熱衝撃性に優れるとともに、良好な密着性を有する硬化物が得られるポジ型感光性樹脂組成物を得ること。【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物は、一般式(1)で表される共重合体(A)、キノンジアジド基を有する化合物(B)、分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を含有する化合物(C)、熱感応性酸発生剤(D)および有機溶剤(E)を含有することを特徴としている。(X)m1-(Y)n-(X)m2 (1)(Xは、下記式(2)で示される構成単位を10重量%以上の量で含む構成単位であり、式中Rは、水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。Yは、Yを構成単位とする(共)重合体のガラス転移温度(Tg)が0°C以下となるような炭素-炭素二重結合化合物から導かれる構成単位。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で示されるブロック共重合体、(B)キノンジアジド基を有する化合物、(C)分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を有する化合物、(D)熱感応性酸発生剤、および(E)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 (X)m1-(Y)n-(X)m2 (1) (Xは、下記式(2)で示される構成単位を10重量%以上の量で含み、Xを構成単位とする(共)重合体のガラス転移温度(Tg)が10°C以上である構成単位であり、

IPC (4件)：

G03F7/023 , C08F297/04 , G03F7/004 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/023 , C08F297/04 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R

Fターム (37件)：

2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE01 , 2H025CB11 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB28 , 2H025CB45 , 2H025CB60 , 2H025CC17 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J026HA08 , 4J026HA20 , 4J026HA26 , 4J026HA32 , 4J026HA39 , 4J026HB15 , 4J026HB16 , 4J026HB26 , 4J026HB32 , 4J026HB39 , 4J026HB45 , 4J026HB50 , 4J026HC08 , 4J026HC20 , 4J026HC26 , 4J026HC32 , 4J026HC39 , 4J026HC45 , 4J026HE02 , 4J026HE04

引用特許：

出願人引用 (4件)

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-327699 出願人：東京応化工業株式会社
マイクロレンズ用感光材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-315003 出願人：東ソー株式会社
パターンの保持方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-196871 出願人：住友化学工業株式会社

全件表示

審査官引用 (4件)

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-327699 出願人：東京応化工業株式会社
マイクロレンズ用感光材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-315003 出願人：東ソー株式会社
パターンの保持方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-196871 出願人：住友化学工業株式会社

全件表示

引用文献：

審査官引用 (1件)

化学大辞典6, 19760910, 縮刷版, 第847頁

前のページに戻る