特許
J-GLOBAL ID：200903004316783466

溶液の塗布装置及び溶液供給量の計測方法

発明者：
梶原 慎二

梶原 慎二 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (5件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-277935
公開番号（公開出願番号）：特開2007-136450
出願日： 2006年10月11日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】この発明はノズルから供給される溶液の供給量の測定精度の向上と測定作業の能率向上を図ることができる塗布装置を提供することにある。【解決手段】基板に溶液を供給塗布する溶液の塗布装置であって、 所定方向に沿って配置され基板に溶液を供給塗布するノズルを有する複数の塗布ヘッド22と、上面に上記基板が載置される載置テーブル7と、載置テーブルと塗布ヘッドを所定方向と交差する方向に相対的に移動させる第1のリニアモータ8と、塗布ヘッドから供給される溶液の重量を測定する秤41と、秤を所定方向及びその所定方向と交差する方向に上記載置テーブルと独立して移動させる第2のリニアモータ44とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に溶液を供給塗布する溶液の塗布装置であって、 所定方向に沿って配置され上記基板に上記溶液を供給塗布する複数のノズルと、 上面に上記基板が載置される載置テーブルと、 この載置テーブルと上記塗布ヘッドを上記所定方向と交差する方向に相対的に移動させる第1の駆動手段と、 上記ノズルから供給される溶液の重量を測定する秤と、 この秤を上記所定方向及びその所定方向と交差する方向に上記載置テーブルと独立して移動させる第2の駆動手段と を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 11/00 ,  B05C 5/00 ,  B05C 13/02 ,  B05D 3/00 ,  B05D 1/26
FI (5件)：
B05C11/00 ,  B05C5/00 101 ,  B05C13/02 ,  B05D3/00 D ,  B05D1/26 Z
Fターム (20件)：
4D075AC07 ,  4D075AC73 ,  4D075AC78 ,  4D075AC84 ,  4D075AC86 ,  4D075AC91 ,  4D075DA06 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA02 ,  4F042BA12 ,  4F042BA25 ,  4F042DF01 ,  4F042DF15 ,  4F042DH09
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM