特許
J-GLOBAL ID：200903004401231693

ケイ素-アルミニウム-混合酸化物粉末を含有する水性分散液、その製造方法並びにその使用

発明者：
フランク メンツェル

フランク メンツェル について

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ヴォルフガング ロルツ

ヴォルフガング ロルツ について

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ヘルムート マンゴールト

ヘルムート マンゴールト について


出願人/特許権者：
デグサ アクチエンゲゼルシャフト

デグサ アクチエンゲゼルシャフト について


代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-046607
公開番号（公開出願番号）：特開2002-332476
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 研磨剤として、正確に定義された粒子からなる混合酸化物を含有する水性分散液を調製する。【解決手段】 水性分散液として0.1〜99.9質量%のAl2O3を有するケイ素-アルミニウム-混合酸化物粉末を含有し、該粉末がSi-O-Al結合及び非晶質及び/又は晶質の二酸化ケイ素領域及び晶質の酸化アルミニウム領域を有する水性分散液を使用する。
請求項（抜粋）：
ケイ素-アルミニウム-混合酸化物粉末を含有する水性分散液において、ケイ素-アルミニウム-混合酸化物粉末が0.1〜99.9質量%のAl2O3を含有し、Si-O-Al結合及び非晶質及び/又は晶質の二酸化ケイ素領域及び晶質の酸化アルミウム領域を含む構造を有することを特徴とする、ケイ素-アルミニウム-混合酸化物粉末を含有する水性分散液。
IPC (6件)：
C09K 3/14 550 ,  C09C 1/28 ,  C09C 1/40 ,  C09C 3/04 ,  C09C 3/08 ,  H01L 21/304 622
FI (6件)：
C09K 3/14 550 D ,  C09C 1/28 ,  C09C 1/40 ,  C09C 3/04 ,  C09C 3/08 ,  H01L 21/304 622 D
Fターム (20件)：
4J037AA18 ,  4J037AA25 ,  4J037CA14 ,  4J037CA15 ,  4J037CA16 ,  4J037CB09 ,  4J037CB10 ,  4J037CB12 ,  4J037CB15 ,  4J037CB17 ,  4J037CB18 ,  4J037CB19 ,  4J037DD02 ,  4J037DD07 ,  4J037DD20 ,  4J037EE03 ,  4J037EE28 ,  4J037EE29 ,  4J037EE43 ,  4J037EE46
引用特許：
審査官引用 (5件)
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