特許
J-GLOBAL ID：200903004571274290

薄膜トランジスタ・アレイ基板、薄膜トランジスタ・アレイ基板の製造方法および表示装置

発明者：
廣升 泰信

廣升 泰信 について

, 
中枌 晃弘

中枌 晃弘 について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション について


代理人 (1件)： 坂口 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148769
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351354
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：
【要約】【課題】 薄膜トランジスタ・アレイ基板、薄膜トランジスタ・アレイ基板の製造方法および表示装置を提供する。【解決手段】 本発明のTFTアレイ基板10は、絶縁基板12と、絶縁基板10上にマトリックス状に形成される薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタに電気的に接続された引出線46を含む。引出線46の上部にはゲート絶縁膜32が形成され、ゲート絶縁膜32の上部にはパッシベーション膜38が形成され、さらに端部が形成された有機ポリマーを含む層間絶縁膜42が形成されている。エッチング・ストッパ50は、層間絶縁膜42の端部48から露出したゲート絶縁膜32、またはパッシベーション膜38の少なくとも一方の上部に形成されている。
請求項（抜粋）：
絶縁基板と、該絶縁基板上にマトリックス状に形成される薄膜トランジスタと、前記絶縁基板上に形成され、前記薄膜トランジスタに電気的に接続された導電配線と、前記導電配線に隣接して形成された絶縁膜と、前記絶縁膜の上側に形成され、端部が形成された有機ポリマーを含むポリマー絶縁膜と、前記ポリマー絶縁膜の端部から突出するように前記絶縁膜の上部に形成されたエッチング・ストッパとを含む薄膜トランジスタ・アレイ基板。
IPC (8件)：
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/786
FI (9件)：
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 Z ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/35 ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 619 A ,  H01L 21/90 A
Fターム (88件)：
2H090HA04 ,  2H090HB07X ,  2H090HD05 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H092HA04 ,  2H092JA24 ,  2H092JB21 ,  2H092KB21 ,  2H092MA18 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK04 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK18 ,  5F033KK20 ,  5F033KK21 ,  5F033KK38 ,  5F033MM15 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ24 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033RR27 ,  5F033SS11 ,  5F033VV15 ,  5F033XX31 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC01 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110HL07 ,  5F110HM18 ,  5F110HM19 ,  5F110NN03 ,  5F110NN12 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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