特許
J-GLOBAL ID：200903004627757280

局所清浄化装置

発明者：
神谷 松雄

神谷 松雄 について


出願人/特許権者：
株式会社日立プラントテクノロジー

株式会社日立プラントテクノロジー について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-254673
公開番号（公開出願番号）：特開2008-075945
出願日： 2006年09月20日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】クリーンルーム内で個々の清浄化対象物の清浄に保つべき部分を周囲の汚染から防護するとともに、清浄化対象物自身から発生する汚染を周囲に拡散させない局所清浄化装置を提供する。【解決手段】クリーンルーム2内に設けられた局所清浄化装置1であって、吹出面を有する吹出ユニット11と、空気を吸い込み吹出ユニット11に空気を送り込む送風機18及び吸込んだ空気を清浄化するフィルタを備えた送風ユニット10とがキャスタ24により移動可能な装置本体に搭載された吹出装置5と、吸込面を有する吸込ユニット16と、吸込ユニット16から空気を吸込みクリーンルーム2内に空気を排出する吸風機26及び空気を清浄化するフィルタを備えた吸風ユニット15とがキャスタ32により移動可能な装置本体に搭載された吸込装置6とを備え、吹出装置5と吸込装置6とで清浄化対象物3を挟み込むように配置することを特徴とする局所清浄化装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内に設けられた清浄化対象物の近傍を局所的に清浄化する局所清浄化装置であって、 空気を吹き出す吹出面を有する吹出ユニットと、クリーンルーム内の空気を吸い込み前記吹出ユニットに空気を送り込む送風機及び吸込んだ空気を清浄化するフィルタを備えた送風ユニットと、がキャスタにより移動可能な装置本体に搭載された吹出装置と、 空気を吸い込む吸込面を有する吸込ユニットと、前記吸込ユニットから空気を吸込み前記クリーンルーム内に当該空気を排出する吸風機及び当該空気を清浄化するフィルタを備えた吸風ユニットと、がキャスタにより移動可能な装置本体に搭載された吸込装置と、を備え、 前記吹出装置と前記吸込装置とで前記清浄化対象物を挟み込むように配置することを特徴とする局所清浄化装置。
IPC (1件)：
F24F 7/06
FI (1件)：
F24F7/06 C
Fターム (4件)：
3L058BF03 ,  3L058BF04 ,  3L058BG01 ,  3L058BG04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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