積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-097564
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294697
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】早期測定開始でき、少消費電力であり、高耐熱性であり、容易に小型化できる積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサを提供する。【解決手段】ヒータ113を有する第1絶縁性基部11と、第1セル部用固体電解質体121、第1セル部用電極122及び123を備える第1セル部12と、検知室13と、第2セル部用固体電解質体141、第2セル部用電極142及び143を備える第2セル部14と、通気性を有する多孔質部151を備える第2絶縁性基部15と、をこの順に積層して備え、電極123は電極122に対向し、電極142は被測定ガスと接するように配置され、電極143は検知室13に面し且つ電極142に対向して配置する。

請求項（抜粋）：

一体に焼成された積層型ガスセンサ素子であって、ヒータを表面又は内部に有する第1絶縁性基部と、第1セル部用固体電解質体並びに該第1セル部用固体電解質体の表面に形成された一対の第1セル部用電極を有する第1セル部と、検知室と、第2セル部用固体電解質体並びに該第2セル部用固体電解質体の表面に形成された一対の第2セル部用電極を有する第2セル部と、をこの順に積層して備え、該第1セル部用電極の一方の電極は該検知室に面して配置され、該第1セル部用電極の他方の電極は該第1セル部用電極の該一方の電極に対向して配置され、該第2セル部用電極の一方の電極は被測定ガスと接するように配置され、該第2セル部用電極の他方の電極は該検知室に面し且つ該第2セル部用電極の該一方の電極に対向して配置されていることを特徴とする積層型ガスセンサ素子。

IPC (2件)：

G01N 27/419 , G01N 27/416

FI (4件)：

G01N 27/46 327 J , G01N 27/46 327 A , G01N 27/46 327 C , G01N 27/46 331

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平1-262458
特開平1-262458
特開昭63-082355

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