特許
J-GLOBAL ID:200903004894818558

位置決めマーカおよび位置決め装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西教 圭一郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-140859
公開番号(公開出願番号):特開2002-340756
出願日: 2001年05月11日
公開日(公表日): 2002年11月27日
要約:
【要約】【課題】 異なる倍率の観察領域間において相互に伝達可能な情報を有し、倍率の大きな観察領域における高精度と倍率の小さい観察領域における高速性とを利用可能にする。【解決手段】 位置決めマーカ1は、骨格マーカ2とデータマーカ3とが組合せて構成され、骨格マーカ2とデータマーカ3とは、順次的に相互に異なる倍率に設定される観察領域の現倍率と各隣接する倍率とに対応して存在する。骨格マーカ2は2次元座標を構成し、データマーカ3は、隣接する倍率のうち大きい方の倍率における座標原点の位置に関する情報Pm(x,y)と、観察領域の現倍率、隣接する倍率のうち大きい方の倍率および隣接する倍率のうち小さい方の倍率における座標スケール情報Sc,Sm,SMとを備えるので、倍率の異なる観察領域の間を情報伝達することによって移行し位置決めをすることができる。
請求項(抜粋):
物体表面の観察すべき領域の倍率を変化して位置決めを行うために用いる位置決めマーカにおいて、骨格マーカとデータマーカとが組合せて構成され、骨格マーカとデータマーカとは、順次的に相互に異なる倍率に設定される観察すべき領域の現倍率と各隣接する倍率とに対応して存在し、骨格マーカは、4個の個別骨格マーカからなり、個別骨格マーカの重心を頂点とする仮想4角形における対向する個別骨格マーカの重心をそれぞれ結ぶ直線は交差し、これら2つの直線によって物体表面の2次元座標を構成し、データマーカは、個別骨格マーカ相互間に形成される複数の個別データマーカからなり、隣接する倍率のうち大きい方の倍率における座標の原点の位置に関する情報{Pm(x,y)}と、現倍率における座標のスケ-ル情報(Sc)と、隣接する倍率のうち大きい方の倍率における座標のスケール情報(Sm)と、隣接する倍率のうち小さい方の倍率における座標のスケール情報(SM)とを備えることを特徴とする位置決めマーカ。
IPC (2件):
G01N 1/28 ,  G01N 13/10
FI (2件):
G01N 13/10 D ,  G01N 1/28 H
Fターム (4件):
2G052FD20 ,  2G052GA35 ,  2G052GA36 ,  2G052HC35
引用特許:
出願人引用 (6件)
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