パタ-ン欠陥分類装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-374715
公開番号（公開出願番号）：特開2000-194864
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】被検査体表面に形成されたパターンに欠陥が有る場合に、その欠陥がショート(短絡)、オープン(断線)、または異物付着の欠陥(ダスト)であるか否かを自動的に判別すること。【解決手段】欠陥部分を含む所定範囲の被検査体画像から前記所定パターンの領域を形成する要素が実際に形成するパターンのみを抽出した画像である被検査体パターン抽出画像を記憶する被検査体パターン抽出画像記憶装置CM1cと、前記被検査体パターン抽出画像を作成抽出した被検査体表面の画像部分に対応するモデル画像から前記所定パターン領域のみを抽出した画像であるモデルパターン抽出画像を記憶するモデルパターン抽出画像記憶装置CM2cと、前記被検査体パターン抽出画像と前記モデルパターン抽出画像とに基づいて前記被検査体欠陥部のパターン欠陥の種類を自動的に判別するパターン欠陥自動判別手段C3とを備えた欠陥分類装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件(A01)〜(A03)を備えたことを特徴とするパターン欠陥分類装置、(A01)所定パターンを形成すべき要素が実際に形成された被検査体表面に対して予め行った検査で発見された欠陥領域の画像を含む被検査体画像を記憶する被検査体画像記憶装置と、前記被検査体表面の欠陥領域の位置を含む被検査体欠陥情報を記憶した被検査体欠陥情報記憶装置と、前記欠陥領域を含む所定範囲の被検査体画像から前記所定パターンの領域を形成する要素が実際に形成するパターンのみを抽出した画像の外形の特定が可能な被検査体パターン抽出画像を記憶する被検査体パターン抽出画像記憶装置とを有する被検査体情報記憶装置、(A02)前記被検査体パターン抽出画像を作成抽出した被検査体表面の画像部分に対応するモデル画像から前記所定パターン領域のみを抽出した画像の外形の特定が可能なモデルパターン抽出画像を記憶するモデルパターン抽出画像記憶装置、(A03)前記被検査体パターン抽出画像と前記モデルパターン抽出画像とに基づいて前記被検査体表面の欠陥領域のパターン欠陥の種類を自動的に判別するパターン欠陥自動判別手段。

IPC (5件)：

G06T 7/00 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (5件)：

G06F 15/62 405 A , G01B 11/30 A , G01R 31/26 G , H01L 21/66 J , G01N 21/88 645 A

Fターム (46件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC18 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065PP24 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2G003AA10 , 2G003AB18 , 2G003AH01 , 2G003AH02 , 2G003AH05 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051DA07 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051ED07 , 2G051ED14 , 2G051ED23 , 2G051FA10 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106AA09 , 4M106BA20 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB05 , 4M106DB21 , 4M106DJ14 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B057AA03 , 5B057DA03 , 5B057DA17 , 5B057DB02 , 5B057DC09 , 5B057DC36 , 5B057DC40

引用特許：

審査官引用 (10件)

配線パターン検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-334082 出願人：松下電器産業株式会社
パターン検査方法及びパターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-119537 出願人：日本アビオニクス株式会社
配線パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-328500 出願人：松下電器産業株式会社

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