特許
J-GLOBAL ID：200903005036250124

ウェーハの研削装置及び研削方法

発明者：
村井 史朗

村井 史朗 について

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加賀 宗明

加賀 宗明 について

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黒田 健正

黒田 健正 について

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河津 知之

河津 知之 について


出願人/特許権者：
株式会社日平トヤマ

株式会社日平トヤマ について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-024678
公開番号（公開出願番号）：特開2005-217326
出願日： 2004年01月30日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：
【課題】 ウェーハの表面に保護シートを貼着して、そのウェーハの裏面を研削する際、ウェーハに大きな撓みが生じるのを抑制する。【解決手段】 ウェーハWをその表面に貼着した保護シートP側において回転テーブル13上にチャックし、回転テーブル13を回転させるとともに、回転砥石18を回転させながらウェーハWに対して送り移動させて、ウェーハWの裏面を研削する。ウェーハWの研削時に、第1計測手段により回転砥石18がウェーハWに接触した位置からの回転砥石18の研削面18aの位置の変化量を計測するとともに、第2計測手段により研削中の回転砥石18と接触しない部分でのウェーハWの被研削面Waの位置の変化量を計測し、それらの計測結果からウェーハWの撓み量を検出する。検出された撓み量が所定値を越えたとき、回転砥石18の研削送りを停止させるように制御する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回転テーブルと、回転テーブルの回転軸線と平行な回転軸線を中心に回転される回転砥石とを有し、ウェーハの表面側に貼着された保護シートを回転テーブル上にチャックして、回転するウェーハの裏面側を回転砥石により研削するようにしたウェーハの研削装置において、研削時におけるウェーハの撓み量を検出する撓み量検出手段と、検出された撓み量が所定値を越えた場合に回転砥石の研削送りを停止させる制御手段とを備えたことを特徴とする研削装置。
IPC (5件)：
H01L21/304 ,  B24B7/04 ,  B24B7/20 ,  B24B49/10 ,  B24B49/16
FI (6件)：
H01L21/304 631 ,  H01L21/304 622S ,  B24B7/04 A ,  B24B7/20 ,  B24B49/10 ,  B24B49/16
Fターム (12件)：
3C034AA07 ,  3C034BB91 ,  3C034BB92 ,  3C034CA30 ,  3C034CB01 ,  3C034DD10 ,  3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043BB00 ,  3C043CC04 ,  3C043DD06 ,  3C043EE04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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