特許
J-GLOBAL ID:200903005037455773
微細孔内フッ素樹脂除去方法及び除去装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
栗原 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-248942
公開番号(公開出願番号):特開2004-330793
出願日: 2004年08月27日
公開日(公表日): 2004年11月25日
要約:
【課題】 ヘッド部材に耐久性の高い撥インク膜を形成すると共に、微細孔である噴射孔内のフッ素樹脂を周囲に影響を与えることなく除去する。【解決手段】 厚さ方向に貫通して設けられた微細孔14を有するワーク15の微細孔14内のフッ素樹脂25aを除去する微細孔内フッ素樹脂除去方法であって、微細孔14の一方の開口面側からプラズマ化した処理ガス68aを微細孔14内に流入させて微細孔14内のフッ素樹脂25aを除去する。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
厚さ方向に貫通して設けられた微細孔を有するワークの前記微細孔内のフッ素樹脂を除去する微細孔内フッ素樹脂除去方法であって、
前記微細孔の一方の開口面側からプラズマ化した処理ガスを前記微細孔内に流入させて当該微細孔内のフッ素樹脂を除去することを特徴とする微細孔内フッ素樹脂除去方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
2C057AF65
, 2C057AG07
, 2C057AG14
, 2C057AP02
, 2C057AP12
, 2C057AP13
, 2C057AP60
, 2C057AP90
, 2C057AQ06
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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