特許

J-GLOBAL ID：200903005055225033

核融合装置の真空排気システム

発明者： 廣木 成治 ,  阿部 哲也 ,  村上 義夫 ,  中村 順一 ,  井口 昌司
出願人/特許権者： 日本原子力研究所 ,  株式会社大阪真空機器製作所
代理人 (1件)： 小山 輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-148393
公開番号（公開出願番号）：特開平8-319946
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 核融合装置の真空排気システムにおいて、効率的、経済的で且つ安全性に優れた大容量真空排気システムを構築することを目的とする。【構成】 真空室1からの排出管1aの下流側にコンダクタンス調整弁Vc を接続し、該排出管1aの途中に大型の第1ねじ溝真空ポンプ3を接続し、前記コンダクタンス調整弁Vc の弁筐体6の後部室6bに大型のクライオポンプ2を接続すると共に、該弁筐体6の前半は第1第2弁板7a、7bによって中間室6aを形成させ、該中間室6aには中型の第2ねじ溝真空ポンプ4を接続し、更に前記後部室6bにはクライオポンプ再生用の大型の第3ねじ溝真空ポンプを接続した。

請求項（抜粋）：

真空室からの排気路の下流端にクライオポンプを接続すると共に該排気路の中間部に、開度調整可能な第1第2弁板を有しこれら第1第2弁板間に中間室が形成されているコンダクタンス調整弁を介在し、前記第1弁板の上流側の前記排気路に第1ねじ溝真空ポンプを、前記中間室に第2ねじ溝真空ポンプを、前記第2弁板の下流側に第3ねじ溝真空ポンプをそれぞれ連通接続したことを特徴とする核融合装置の真空排気システム。

IPC (2件)：

F04B 37/08 ,  G21B 1/00

FI (2件)：

F04B 37/08 ,  G21B 1/00 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-175693
  
• ねじ溝型真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-046991   出願人：株式会社大阪真空機器製作所
• 半導体製造装置の排気ポンプシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-327200   出願人：富士通株式会社
• 真空プロセス装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-097183   出願人：株式会社リコー