画像処理検査用テープ搬送方法及び搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村政美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199498
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019129
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【解決手段】半導体の実装用テープP表面のパターンをラインセンサSで検査する画像処理検査装置Tのテープ搬送方法において、実装用テープPを湾曲保持し、この湾曲した実装用テープPの表面をラインセンサSの撮影位置に位置合わせする。【効果】実装用テープの撮影位置を正確に保ち、撮影部分の歪みを防止すると共に、連続的な検査を正確に行うことが可能になり、しかも、実装用テープの表面に非接触状態で検査することができる。

請求項（抜粋）：

半導体の実装用テープをラインセンサで検査する画像処理検査装置のテープ搬送方法において、実装用テープを湾曲保持し、この湾曲した実装用テープの表面をラインセンサの撮影位置に連続的に位置合わせすることを特徴とする画像処理検査用テープ搬送方法。

IPC (4件)：

G01N 21/89 , B65H 23/188 , G01B 11/00 , G01N 21/88

FI (4件)：

G01N 21/89 A , B65H 23/188 A , G01B 11/00 Z , G01N 21/88 E

Fターム (21件)：

2F065AA14 , 2F065BB15 , 2F065CC25 , 2F065FF04 , 2F065GG00 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065UU04 , 2G051AA41 , 2G051AA90 , 2G051CA03 , 2G051DA01 , 2G051DA08 , 2G051DA20 , 3F105AA00 , 3F105AB15 , 3F105DA25 , 3F105DA38 , 3F105DA57 , 3F105DB11 , 3F105DC11

引用特許：

出願人引用 (7件)

画像検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-355609 出願人：ウシオ電機株式会社
精密部品の外観検査装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-057684 出願人：株式会社アイ・アール・イー, 株式会社マイクロ・テクニカ
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-091225 出願人：大日本インキ化学工業株式会社

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審査官引用 (6件)

画像検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-355609 出願人：ウシオ電機株式会社
精密部品の外観検査装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-057684 出願人：株式会社アイ・アール・イー, 株式会社マイクロ・テクニカ
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-091225 出願人：大日本インキ化学工業株式会社

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