特許
J-GLOBAL ID：200903005371586277
ポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-205349
公開番号（公開出願番号）：特開平11-029852
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【目的】ポリイミドフィルムと金属薄膜の接着力を改善し、かつ、接着剤を使用しないでポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムを製造する方法を提供する。【構成】ポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法は、ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理する工程、プラズマ処理したポリイミドフィルムをイミダール基を含むシランカップリング剤のイミダゾールシラン溶液でカップリング処理する工程、およびカップリング処理したポリイミドフィルム表面に金属をスパッタリングまたは蒸着することによって金属薄膜を形成する工程よりなる。
請求項（抜粋）：
ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理する工程、該プラズマ処理したポリイミドフィルムをイミダゾール基を含むシランカップリング剤のイミダゾールシラン溶液でカップリング処理する工程、および該カップリング処理したポリイミドフィルム表面に金属をスパッタリングまたは蒸着することによって金属薄膜を形成する工程よりなることを特徴とするポリイミドフィルム-金属薄膜の複合フィルムの製造方法。
引用特許：
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