特許
J-GLOBAL ID：200903005372113038
光学用窓及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-178660
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033704
出願日： 1995年07月14日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 赤外から真空紫外域に至るまで広範囲にわたって優れた透過特性を有し、かつ超高真空装置に取り付けることが可能で、ベーキングにも耐えうる優れた特性を有する光学用窓及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 少なくとも窓材としてのダイヤモンドと、真空装置用フランジと、前記ダイヤモンドをフランジに接合するための接合枠と、この接合枠とダイヤモンドとを接合させる特定材質の接合材とからなる光学用窓及びダイヤモンド板を作製する工程と、フランジに接合枠を取り付ける工程、接合材を介して接合枠にダイヤモンド板を取り付ける工程からなる光学用窓の製造方法。接合枠の形状、材質等を適当に定めることによりさらに効果は増大する。
請求項（抜粋）：
少なくとも窓材としてのダイヤモンドと、真空装置用フランジと、前記ダイヤモンドをフランジに接合するための接合枠と、この接合枠とダイヤモンドとを接合させる接合材とからなり、該接合材が、Ti、Si、Ni、Hf、Zr、V、Nb、Ta、Cr、W、Pt、Mo、Ta、Os、Re、Rh、Au、Ag、Sn及びPbからなる群から選ばれる元素の単体、これらの元素の2種以上の混合物若しくは合金、これらの元素の酸化物、窒化物、炭化物若しくはハロゲン化物、又はこれらの積層からなることを特徴とする光学用窓。
IPC (5件)：
G02B 5/00
, B01J 3/00
, B32B 9/00
, C30B 29/04
, G02B 1/00
G02B 5/00 Z
, B01J 3/00 K
, B32B 9/00 A
, C30B 29/04 A
, G02B 1/00
