特許
J-GLOBAL ID：200903005379016410
基板を支持するための方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
長谷川 芳樹
, 山田 行一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-161844
公開番号（公開出願番号）：特開2005-347751
出願日： 2005年06月01日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：
【課題】 リフトピンの垂直の向きを制御するために、リフトピンの角度を制限し、及び/又はサセプタが上がるにつれてリフトピンがサセプタに無意識に結合するのを防止し且つ基板の結果として生じる平坦でない支持体を防止する、基板支持方法及び装置の提供。【解決手段】 基板を持ち上げる間、リフトピンの垂直の向きを維持する摩擦プレート及び/又は磁界と係合する軸受面を有する垂直に整列したリフトピンを含んでいる。ある実施態様においては、磁界及び/又は重量を、或いは又は更に、用いることができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
サセプタを通って垂直にすべるように配置された少なくとも1つのリフトピンと、
該リフトピンに結合した磁石と、
を備えた装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F031CA05
, 5F031HA02
, 5F031HA33
, 5F031LA04
