低反射膜積層体とその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117233
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305009
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】成膜工程上2層構成でありながら、反射率を抑え、さらに電磁波シールド効果の機能を合わせ持つ低反射膜積層体を提供すること。【解決手段】基材2の上に設けられ、導電性を有するセラミック薄膜層3を少なくとも1層含み、材料の異なる2つの層からなる低反射膜積層体1であって、低反射膜積層体1の基材2と接する第1の層は、屈折率の異なる2つの層4、5からなり、この基材と接する第1の層の2つの層4、5の屈折率を基材側からn<SB>11</SB>,n<SB>12</SB>,第2の層6の屈折率をn<SB>2 </SB>としたとき、n<SB>2 </SB><n<SB>11</SB><n<SB>12</SB>であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基材の上に設けられ、導電性を有するセラミック薄膜層を少なくとも1層含み、材料の異なる2つの層からなる低反射膜積層体であって、低反射膜積層体の基材と接する第1の層は、屈折率の異なる2つの層からなることを特徴とする低反射膜積層体。

IPC (2件)：

G02B 1/11 , B32B 18/00

FI (2件)：

G02B 1/10 A , B32B 18/00 C

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平1-257801
反射防止膜及びその成膜法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-244080 出願人：東海ゴム工業株式会社
光学多層膜及びその成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-170119 出願人：松下電器産業株式会社

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