特許
J-GLOBAL ID：200903005517432790
熱処理板の温度設定方法,プログラム,プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
金本 哲男
, 亀谷 美明
, 萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-141351
公開番号（公開出願番号）：特開2007-311690
出願日： 2006年05月22日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】レジストパターンの線幅がウェハ面内で均一に形成されるように,熱板の温度設定を行う。【解決手段】PEB装置の熱板は,複数の熱板領域に分割されており,各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には,熱板面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定できる。先ず,フォトリソグラフィー工程が終了したウェハ面内の線幅を測定するS1。その測定線幅の面内傾向Zを,ゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分Znに分解するS2。次に,その算出された複数の面内傾向成分Znから,温度補正値の設定により改善可能な面内傾向成分を抜き出し,それらを足し合わせて,測定線幅における改善可能な面内傾向Zaを算出するS3。そして,現状の処理状態の面内傾向Zからその改善可能な面内傾向Zaを引き算して,改善後の面内傾向Zfを算出するS4。【選択図】図13
請求項（抜粋）：
基板を載置して熱処理する熱処理板の温度設定方法であって,
前記熱処理板は,複数の領域に区画され,当該領域毎に温度設定可能であり,
さらに前記熱処理板の各領域毎に,熱処理板の面内温度を調整するための温度補正値が設定可能であり,
前記熱処理を含む一連の基板処理が終了した基板についての現状の基板面内の処理状態から,その基板の処理状態の面内傾向をゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分に分解する工程と,
前記複数の面内傾向成分のうちの,前記各領域の温度補正値の設定により改善可能な面内傾向成分を足し合わせて,基板の処理状態の改善可能な面内傾向を算出する工程と,
前記現状の処理状態の面内傾向から前記改善可能な面内傾向を引き算して,改善後の処理状態の面内傾向を算出する工程と,を有することを特徴とする,熱処理板の温度設定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 567
, H05B3/00 310C
3K058AA01
, 3K058AA62
, 3K058AA82
, 3K058BA14
, 3K058CA12
, 3K058CA28
, 3K058CB15
, 3K058CB22
, 3K058CE19
, 3K058CE23
, 5F046KA04
